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    产品名称:晶圆FOUP洁净度检测设备(型号:FLATT12 )

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    晶圆FOUP内洁净度检测设备。

    可检测6inch,8inch,12inch的晶圆FOUP。

    可同时测试4种颗粒直径,可设定颗粒大小,最小100nm.

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